方案概述
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备
禾川方案
方案特色
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视觉定位
视觉定位，进行检测偏差，补偿给控制系统
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高重合精度
高精度，高响应定位，控制伺服驱动
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高像素相机
视觉实时测量晶棒生长尺寸
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高速处理数据
高速PLC 承载着整个系统的运算及执行
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