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方案概述

制绒刻蚀上下料机是对要经过制绒工艺的硅片进行上下转移的装置。

禾川方案

方案特色

  • 装卸一体

    将花篮里硅片搬运输送上料到制绒/刻蚀工艺主机;将经刻蚀或制绒工艺后的硅片转移装入到硅片花篮
  • 高可靠性

    通过X3EB EtherCat伺服,运行动作高速轻柔,实现高精度定位