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方案概述

清洗机是对硅片进行表面处理的设备,主要作用去除硅片表面污染物、自身氧化物,得到符合清洁度要求的硅片

禾川方案

方案特色

  • 产能提高

    EtherCat网络架构,提高整个电池片设备工艺产能
  • 高重合精度

    高精度,高响应定位,确保移栽花篮放入各槽位的精度